機械真空泵系統中每臺單泵和泵組間都設 有溫度防護。每臺泵的進氣管路和排氣管路都設 有溫度傳感器。當某級泵進氣、排氣管路溫度在 正常值范圍內時，泵組依據壓力 - 頻率曲線，改 變運行頻率。

當監測出真空泵入口或出口溫度超高報警值，系統認定為真空泵運行溫度過高，發出報警 提示用戶。系統將自檢泵體冷卻水流量、電機電 流負載、泵入口氣體溫度、泵出口氣體溫度。根據 故障點調用處理程序或故障解決方案至系統頁 面。如入口溫度值過高發生報警時，入口溫升 - 降頻曲線投入使用，限制泵組的運行頻率，防止 泵體發生損傷。當排氣管路溫度過高時，出口溫 升 - 降頻曲線投入使用，逐漸降低泵組的運行頻 率。當兩路溫度超過停機閾值時，該級泵組停止 并退出。溫度降低后，泵組再次投入，重新參與系 統的抽真空處理。

如圖 3 所示，三級泵管路溫度為 71℃，已超 過設定報警溫度 65℃，通過遠程云端數據庫判 斷，自動調入溫升 - 降頻曲線，及時提醒用戶采 取降頻措施，防止損壞泵體。 如監測出冷卻水流量小于報警值，將提醒用 戶檢查冷卻水回路，如有必要調整調節閥。如監 測數據未出現異常，則推薦故障解決方案如表2。